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愛德華螺桿真空泵是一種采用一對螺旋軸進(jìn)行抽吸的新型吸氣機(jī)，它具有長壽命，低能耗，無油污染等特點(diǎn)，被廣泛用于制藥、化工、半導(dǎo)體等行業(yè)。

愛德華螺桿真空泵的技術(shù)原理：

該設(shè)備把兩個(gè)經(jīng)過嚴(yán)格動(dòng)平衡校正、用軸承做支撐的螺桿，安裝在泵腔內(nèi)，并在兩個(gè)螺桿之間留下合理的空隙，設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，兩個(gè)轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)作同步高速反向旋轉(zhuǎn)，由此來產(chǎn)生吸氣和排氣。具體的工作過程分為三個(gè):

1.吸氣過程

陽轉(zhuǎn)子按逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，陰螺桿按順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，隨著轉(zhuǎn)子開始轉(zhuǎn)動(dòng)，由于齒的-端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個(gè)齒間容積的擴(kuò)大，在其內(nèi)部形成了一定的真空,而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下來流入其中。

2.壓縮過程

轉(zhuǎn)子端面是排氣端面，在這里，陽轉(zhuǎn)子沿順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)于沿逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn),隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，齒間容積由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據(jù)體積也隨之減小，導(dǎo)致壓力升高，從而實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮過程。

3.排氣過程

排氣過程，齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出。